上海 分子泵內(nèi)部油潤滑與脂潤滑區(qū)別
分子泵內(nèi)部油潤滑與脂潤滑區(qū)別
上海伯東 Pfeiffer 復(fù)合軸承渦輪分子泵, 內(nèi)部陶瓷軸承采用油潤滑方式. 油潤滑對(duì)比脂潤滑主要優(yōu)勢(shì)如下：
1. 給軸承降溫, 延長了分子泵的使用壽命
2. 減少軸承滾珠磨損
3. 清洗分子泵軸承, 避免污染物附著在軸承上
脂潤滑不具備以上優(yōu)點(diǎn), 而且易殘留, 容易導(dǎo)致分子泵的故障率高
上海伯東 HiPace 系列渦輪分子泵技術(shù)規(guī)格
|
型號(hào) |
進(jìn)氣口 DN |
壓縮比 |
極限真空 hPa |
抽速 l/s |
|||||||||
|
N2 |
He |
H2 |
Ar |
N2 |
He |
H2 |
Ar |
||||||
|
25 |
3X106 |
3X103 |
3X102 |
2.5X108 |
< 5X10-5 |
10 |
6 |
3.7 |
11.5 |
||||
|
40 /63 |
1X1011 |
1.3X107 |
1.4X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
67 |
58 |
48 |
66 |
||||
|
100 |
1X1011 |
1X108 |
9X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
260 |
255 |
220 |
255 |
||||
|
160 |
>1X1011 |
3X107 |
14X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
685 |
655 |
555 |
665 |
||||
|
200 |
>1X108 |
2X104 |
6X103 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1250 |
1300 |
1100 |
1200 |
||||
|
250 |
>1X108 |
3X105 |
2X104 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1900 |
2000 |
1850 |
1800 |
||||
極限真空為實(shí)驗(yàn)室理想值
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認(rèn)證. 特別適用于質(zhì)譜分析, 電子顯微術(shù), 測(cè)量技術(shù), 粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用. 除了用于分析, 真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外, 還可用于真空鍍膜, 研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域.
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