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殘余氣體分析儀 PrismaPro
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殘余氣體分析儀 PrismaPro

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級(jí)桿質(zhì)譜儀)集高靈敏度, 高穩(wěn)定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, Pfeiffer 殘余氣體分析儀可定量定性評(píng)估真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分. 最低可檢測(cè)分壓 3 X10-15 hPa.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設(shè)計(jì)保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統(tǒng)集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長(zhǎng)工作時(shí)間
最低可檢測(cè)分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計(jì), 方便測(cè)量壓力
氣密離子源型號(hào)可選, 適合與進(jìn)氣系統(tǒng)組合使用, 具有低氣體消耗和高信噪比的特點(diǎn).

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測(cè)器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)

質(zhì)量數(shù) amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑/長(zhǎng)度

6 / 125 mm

最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C (移除電子模塊)

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時(shí)間

1 ms – 16 s/amu

重量

2.5 kg

3.2 kg

* 1  開(kāi)放式離子源
* 2  停留時(shí)間 4秒
*3   與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口:
pfeiffer PrismaPro


Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴(kuò)展的通訊接口:
PrismaPro 殘余氣體分析儀
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