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氦質(zhì)譜檢漏儀超高真空系統(tǒng)檢漏
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氦質(zhì)譜檢漏儀超高真空系統(tǒng)檢漏

Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀超高真空系統(tǒng)檢漏
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 便攜式檢漏儀 ASM 310 成功應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)檢漏
檢漏原因: 超高真空 Ultra-high vacuum, 真空度一般 < E-7 mbar, 在超高真空的環(huán)境下可以進(jìn)行材料催化, 晶體生長(zhǎng),粒子加速等實(shí)驗(yàn), 為保證較高的真空度, 需要對(duì)整個(gè)真空系統(tǒng)的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進(jìn)行泄漏檢測(cè). 為保證實(shí)驗(yàn)腔體的清潔干燥, 不能出現(xiàn)油氣污染等情況的發(fā)生, 因此需要選擇內(nèi)部集成干泵的檢漏儀.
上海伯東Pfeiffer 檢漏儀ASM310
檢漏方法: 如上圖所示, 采用真空法檢漏, 檢漏儀通過波紋管與真空腔體連接, 在懷疑有漏的地方噴氦氣, 如果檢漏儀報(bào)警, 說(shuō)明此處有漏.
* 鑒于信息保密, 更詳細(xì)的超高真空系統(tǒng)檢漏方法歡迎致電 021-5046-3511

上海伯東 Pfeiffer 便攜式檢漏儀 ASM 310 主要參數(shù):

型號(hào)

連接法蘭

進(jìn)氣口最大壓力

氦氣抽速

前級(jí)泵抽速(干泵)

噪音

重量

ASM 310

DN 25 ISO-KF

15 hPa

1.1l/S

1.7m3/h

<45db(A)

21KG


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