渦輪分子泵應用于角分辨光電子能譜 ARPES
角分辨光電子能譜 Angle resolved photoemission spectroscopy 簡稱 ARPES 利用光電效應研究固體的電子結(jié)構(gòu). 光電子在真空飛行的過程中, 被一個接受角度很小的能量分析器收集計數(shù). 角分辨光電子能譜主要由光源, 電子分析器, 樣品控制臺以及超高真空的獲得和維護系統(tǒng)組成. 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 分子泵廣泛配套在真空系統(tǒng)已保證超高真空的獲得, 同時搭配 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPlus 共同使用.

上海伯東 ARPES 光束線客戶案例: 某光源 ARPES 光束線真空系統(tǒng), 真空系統(tǒng)是同步輻射光束線的重要組成部分, 只有在真空環(huán)境中運行, 光學元件才能夠?qū)⑼捷椛涔鈧鬏數(shù)皆囼炚? 真空系統(tǒng)的作用就是獲得并維持合理的真空度, 保證光束線的穩(wěn)定運行. 此系統(tǒng)搭配伯東 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空規(guī).

真空系統(tǒng)要求 ( 分子泵 ) :
1. 靜態(tài)真空 ( 無束流 ): 5x10-8 Pa,動態(tài)真空(有束流): <5x10-7 Pa
2. 真空系統(tǒng)基本配置: 離子泵 + 無油分子泵 + 冷陰極真空規(guī)管 + 氣體分析儀

超高真空系統(tǒng)配置:

	渦輪分子泵 HiPace 300 接口: DN 100 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011
	渦輪分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011
	殘余氣體分析儀 PrismaPro 質(zhì)量數(shù): 1-300 amu 四極桿直徑／長度: 6 /125 mm 最大工作壓力 F hPa: 5X10-4

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 3000 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復合軸承分子泵和五軸磁懸浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認證. 特別適用于質(zhì)譜分析, 電子顯微術(shù), 測量技術(shù), 粒子加速和等離子體物理方面的應用. 除了用于分析, 真空工藝和半導體技術(shù)外, 還可用于真空鍍膜, 研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域. 推薦分子泵典型應用 >>

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