上海伯東日本 Atonarp Aston™ 質(zhì)譜儀保護環(huán)境免受有害氣體排放污染
半導體和薄膜太陽能工藝使用并產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 許多廢料的處理受環(huán)境法規(guī)的規(guī)定，如美國 NESHAP 標準. 此規(guī)則規(guī)定的主要有害空氣污染物包括但不限于占有害空氣污染物排放總量 90% 以上的五種化學物質(zhì): 鹽酸 HCl , 氟化氫 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 和二甲苯.

美國環(huán)境保護局對混合空氣毒物工藝通風孔 (有機和無機) 的排放限值為 14.22 PPM（按體積計算）. 監(jiān)測并銷毀額外的全氟化碳氣體 PFC 和硅烷 SiH4 等自燃氣體.

問題
減排面臨著多重挑戰(zhàn). 需要監(jiān)測來自減排系統(tǒng)的環(huán)境廢氣, 以確保符合法規(guī)要求, 需要一款具有高靈敏度, 實時, 現(xiàn)場計量, 且精度達到 PPM 級的質(zhì)譜分析儀. 此外, 優(yōu)化減排需要測量廢氣中進入減排系統(tǒng)的污染物濃度, 從而可以調(diào)節(jié)氮氣稀釋和減排燃燒氣體消耗量, 以確?？焖俪ノ廴疚? 天然氣 (甲烷) 通常用于普通燒洗減排系統(tǒng)中的高溫熱氣體分解, 優(yōu)化其使用可降低減排過程成本和二氧化碳排放.

上海伯東 Aston™ 質(zhì)譜分析儀提供有害氣體排放污染解決方案: 數(shù)據(jù)驅(qū)動的減排
許多減排系統(tǒng)是“開環(huán)”運行的, 導致天然氣和氮氣消耗量較高. 此外, 通常不會對減排成功的分析數(shù)據(jù)進行監(jiān)控和記錄, 從而使公司面臨環(huán)境監(jiān)管責任. 使用 Atonarp Aston™ 質(zhì)譜分析儀, 可以根據(jù)進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志, 對減排燃燒過程進行現(xiàn)場優(yōu)化控制, 以記錄環(huán)境合規(guī)性. Aston™ Plasma 質(zhì)譜分析儀能夠承受嚴酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體, 并能提供低至 PPB 水平的靈敏度.  通過快速, 準確的現(xiàn)場計量, 實現(xiàn)快速地減排氣體監(jiān)測和廢氣環(huán)境合規(guī)性.

Atonarp  Aston™ 質(zhì)譜分析儀技術參數(shù)

類型	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
型號	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
質(zhì)量分離	四級桿
真空系統(tǒng)	分子泵	分子泵 隔膜泵	分子泵	分子泵 隔膜泵	分子泵	分子泵 隔膜泵
檢測器	FC /SEM
質(zhì)量范圍	2-285		2-220		2-285
分辨率	0.8±0.2
檢測限	0.1 PPM
工作溫度	15-35“℃
功率	350 W
重量	15 kg
尺寸	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

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上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
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