Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G
上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G, 抽速 500 m³/h 至 1365 m³/h, 采用干式和非接觸式工作原理, 高抽氫速率, 適用于光伏電池, 平板顯示器, 半導(dǎo)體生產(chǎn)等高要求工藝以及眾多工業(yè)鍍膜應(yīng)用.

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 特點(diǎn)
適用于高要求工藝的新一代干式真空泵
先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì)
采用干式和非接觸式工作原理
出色的粉末處理能力
高效的間接水冷
緊湊的就地安裝設(shè)計(jì)
高抽氫速率
高效率電機(jī)
尺寸豐富并配備集成羅茨泵

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G 規(guī)格

技術(shù)參數(shù)	COBRA DS 0700 G	COBRA DS 1000 G	COBRA DS 2000 G
額定抽速	500 m³/h	775 m³/h	1365 m³/h
極限壓力	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)
前級(jí)泵電機(jī)額定功率	4.0 kW	4.0 kW	5.5 kW
羅茨真空泵電機(jī)額定功率	4.0 kW	4.0 kW	5.5 kW
功耗（怠速模式）	3.0 kW	3.3 kW	5.6 kW
極限壓力時(shí)的功耗	3.0 kW	3.3 kW	5.6 kW
前級(jí)泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速	3000 min?¹	3000 min?¹	3000 min?¹
羅茨真空泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速	3000 min?¹	3000 min?¹	3000 min?¹
聲壓級(jí)（ISO 2151），KpA = 3 dB	< 62 dB(A)	< 62 dB(A)	< 68 dB(A)
耗水量	5.0 l/min	5.0 l/min	5.0 l/min
氮?dú)庀牧?/p>	0 – 75 l/min	0 – 75 l/min	0 – 75 l/min
重量（約）	445 kg	576 kg	668 kg
尺寸（L x W x H）	865 x 385 x 917 mm	1034 x 425 x 1017 mm	1063 x 465 x 1069 mm
進(jìn)氣口	DN 63	DN 100	DN 160
排氣口	DN 40	DN 40	DN 40

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA DS 0700–2000 G 應(yīng)用
沼氣處理: 升級(jí) - 變壓吸附
平板顯示器生產(chǎn): 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD); Load lock 腔體;有機(jī)發(fā)光二極管 (OLED); 物理氣相沉積（PVD）
鋰離子電池生產(chǎn): 脫氣
半導(dǎo)體生產(chǎn): 中型, 嚴(yán)苛, 輕型
太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè): 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD)

不同行業(yè)和應(yīng)用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設(shè)備的公司, 更是針對(duì)不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新項(xiàng)目應(yīng)用的公司!

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