鍍膜工藝氣體監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220閱讀數(shù): 10452

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上海伯東德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 真空鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了完美的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源, 在高達(dá) 10-2 hPa 的壓力下, 實(shí)現(xiàn)了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時(shí)提供一個(gè)帶有壓差孔板法蘭的型號(hào)供選擇, 可以實(shí)現(xiàn)在高達(dá) 10 hPa 的壓力范圍里進(jìn)行直接的工藝氣體分析.
鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優(yōu)勢(shì)
用于瞬時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)的鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優(yōu)秀檢測(cè)限
對(duì)測(cè)量結(jié)果的最小化背景影響
提供壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差型號(hào)
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
靈活集成的緊湊尺寸
通過(guò)各種數(shù)字和模擬輸入和輸出, 使系統(tǒng)集成方便而靈活
鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn),玻璃鍍膜, 薄膜太陽(yáng)能電池發(fā)電,研發(fā)
鍍膜工藝氣體監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220 組成:渦輪分子泵+四級(jí)桿質(zhì)譜+離子源
鍍膜工藝氣體監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220 優(yōu)勢(shì):
鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源,適用于瞬時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)
對(duì)氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優(yōu)秀檢測(cè)極限
對(duì)測(cè)量結(jié)果的最小化背景影響
壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
緊湊設(shè)計(jì),易于系統(tǒng)集成
通過(guò)各種數(shù)字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220 技術(shù)參數(shù):
SPM 系統(tǒng)控制 |
BRU 220 |
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電壓 |
115-230 V |
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前級(jí)泵 |
MVP 020-3 |
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四極控制 |
QME 220 |
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帶 SPM 離子源的分析儀 |
QMA 220 |
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探測(cè)器 |
C-SEM/Faraday |
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桿系統(tǒng):材料 |
不銹鋼 |
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桿系統(tǒng):直徑 |
6 mm |
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桿系統(tǒng):長(zhǎng)度 |
100 mm |
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檢測(cè)極限(氬中):二氧化碳 |
< 100 ppb |
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檢測(cè)極限(氬中):氧氣 |
< 100 ppb |
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檢測(cè)極限(氬中):氮 |
< 100 ppb |
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檢測(cè)極限(氬中):水 |
< 3000 ppb |
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檢測(cè)極限(氬中):水蒸氣 |
< 500 ppb or < 6000 ppb |
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渦輪分子泵 |
帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80 |
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質(zhì)量數(shù) |
1-100 amu or 1-200 amu |
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過(guò)程壓力至 |
1 hPa or 10 hPa or 8hPa |
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連接法蘭(入口) |
DN 40 CF-F |
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重量 |
13 kg |
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