鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上海伯東德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 真空鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了完美的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源, 在高達(dá) 10-2 hPa 的壓力下, 實(shí)現(xiàn)了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時(shí)提供一個(gè)帶有壓差孔板法蘭的型號(hào)供選擇, 可以實(shí)現(xiàn)在高達(dá) 10 hPa 的壓力范圍里進(jìn)行直接的工藝氣體分析.

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優(yōu)勢(shì)
用于瞬時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)的鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優(yōu)秀檢測(cè)限
對(duì)測(cè)量結(jié)果的最小化背景影響
提供壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差型號(hào)
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
靈活集成的緊湊尺寸
通過(guò)各種數(shù)字和模擬輸入和輸出, 使系統(tǒng)集成方便而靈活

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn),玻璃鍍膜, 薄膜太陽(yáng)能電池發(fā)電,研發(fā)

鍍膜工藝氣體監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220 組成：渦輪分子泵+四級(jí)桿質(zhì)譜+離子源

鍍膜工藝氣體監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220 優(yōu)勢(shì)：
鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源，適用于瞬時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)
對(duì)氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優(yōu)秀檢測(cè)極限
對(duì)測(cè)量結(jié)果的最小化背景影響
壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
緊湊設(shè)計(jì)，易于系統(tǒng)集成
通過(guò)各種數(shù)字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220 技術(shù)參數(shù)：

SPM 系統(tǒng)控制	BRU 220
電壓	115-230 V
前級(jí)泵	MVP 020-3
四極控制	QME 220
帶 SPM 離子源的分析儀	QMA 220
探測(cè)器	C-SEM/Faraday
桿系統(tǒng)：材料	不銹鋼
桿系統(tǒng)：直徑	6 mm
桿系統(tǒng)：長(zhǎng)度	100 mm
檢測(cè)極限（氬中）：二氧化碳	< 100 ppb
檢測(cè)極限（氬中）：氧氣	< 100 ppb
檢測(cè)極限（氬中）：氮	< 100 ppb
檢測(cè)極限（氬中）：水	< 3000 ppb
檢測(cè)極限（氬中）：水蒸氣	< 500 ppb or < 6000 ppb
渦輪分子泵	帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80
質(zhì)量數(shù)	1-100 amu or 1-200 amu
過(guò)程壓力至	1 hPa or 10 hPa or 8hPa
連接法蘭（入口）	DN 40 CF-F
重量	13 kg

 

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