上海 Aston? 質(zhì)譜儀通過數(shù)字分子分析推進(jìn)半導(dǎo)體過程控制閱讀數(shù): 2726
先進(jìn)半導(dǎo)體應(yīng)用的原位過程控制
上海伯東日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超緊湊型質(zhì)譜儀, 適用于先進(jìn)半導(dǎo)體工藝（如沉積和蝕刻）所需的定量氣體分析.
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Aston™ 質(zhì)譜儀解決了關(guān)鍵的原位計(jì)量問題
• 提高吞吐量: 端點(diǎn)檢測而不是基于時(shí)間的流程
• 提高產(chǎn)量: 以十億分之一的靈敏度測量沉積和蝕刻工藝期間的工藝氣體 / 副產(chǎn)物
Aston™ 質(zhì)譜儀先進(jìn)工藝的優(yōu)勢
ppb 級靈敏度的高速采樣
非常適合高縱橫比的 3D 結(jié)構(gòu)
耐腐蝕性氣體
堅(jiān)固緊湊
易于集成到工具平臺中
沉積應(yīng)用中: 實(shí)時(shí)過程氣體監(jiān)控，以驅(qū)動自動化工具調(diào)整以實(shí)現(xiàn)過程控制, 沉積步驟之間的終點(diǎn)檢測, 實(shí)現(xiàn)層的化學(xué)計(jì)量工程
蝕刻應(yīng)用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產(chǎn)品, 啟用端點(diǎn)腔室清潔
Atonarp Aston™ 技術(shù)參數(shù)
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類型 |
Impact-300 |
Impact-300DP |
Plasma-200 |
Plasma-200DP |
Plasma-300 |
Plasma-300DP |
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型號 |
AST3007 |
AST3006 |
AST3005 |
AST3004 |
AST3003 |
AST3002 |
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質(zhì)量分離 |
四級桿 |
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真空系統(tǒng) |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
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檢測器 |
FC /SEM |
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質(zhì)量范圍 |
2-285 |
2-220 |
2-285 |
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分辨率 |
0.8±0.2 |
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檢測限 |
0.1 PPM |
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工作溫度 |
15-35“℃ |
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功率 |
350 W |
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重量 |
15 kg |
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尺寸 |
299 x 218 x 331 LxWxH(mm) |
400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
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Aston™ 質(zhì)譜儀半導(dǎo)體制造應(yīng)用
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先進(jìn)的工藝 Sub-fab 安全性, 可持續(xù)性和節(jié)省優(yōu)化 |
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沉積
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