美國 HVA 真空閘閥 21200 系列
美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10^{- 9} mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應(yīng)用。超長使用壽命1,000,000 啟動次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進口閥門與低溫泵、渦輪分子泵，離子泵等完美聯(lián)用。

HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列產(chǎn)品特點
直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器。獨特的氣缸設(shè)計使沖擊和振動減少到最小。HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒有機械鎖，因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè)。所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內(nèi)部表面區(qū)域。閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門的最大完整性。 在保養(yǎng)方面，支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來。閥門手動、氣動可選，標準或定制法蘭滿足不同應(yīng)用。HVA 標準周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動超控。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)

閥門材質(zhì)：
閥門主體	304不銹鋼
焊接波紋管軸封	AM-350
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷	硬質(zhì)不繡鋼
密封件	氟橡膠
真空：
壓力范圍	1x10-9 mbar
漏率	< 2x10-9  mbar l/S
差壓關(guān)閉	1 bar (任意位置)
開啟前最大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
佛橡膠密封	150 °c
驅(qū)動方式	手動 60 °c;氣動 60 °c
使用壽命：1,000,000啟閉次數(shù)
公稱通徑：DN16-320 mm

HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品部件圖

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