上海 Pfeiffer 普發(fā)質(zhì)譜分析儀
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商, 銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品 20余年, 協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù). 擁有100% 原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件, 提供快速維修服務(wù). 推薦 Pfeiffer 普發(fā)真空產(chǎn)品: 渦輪分子泵, 氦質(zhì)譜檢漏儀, 質(zhì)譜分析儀, 真空測(cè)量, 干式渦旋泵等. Pfeiffer Vacuum 德國普發(fā)真空創(chuàng)立于 1890 年迄今已有 130余年的歷史.
|
|
 |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
德國普發(fā) Pfeiffer 質(zhì)譜分析儀, 可定性定量分析氣體的組成和含量, 內(nèi)置 QuadstarTM 軟件, Pfeiffer 普發(fā)質(zhì)譜分析儀可與熱重, 吸附儀, 催化劑評(píng)價(jià)裝置聯(lián)用, 同時(shí)測(cè)試 128 種氣體組份. 檢測(cè)極限 < 100 ppb
在線質(zhì)譜分析儀 OmniStar? / ThermoStar?
Pfeiffer 全新一代高效在線質(zhì)譜分析儀, 在壓力范圍高達(dá) 1,000 hPa 下的氣體分析儀
|
型號(hào) |
OmniStar |
ThermoStar |
|
質(zhì)量數(shù)范圍 amu |
1–100 / 1–200 / 1–300 |
|
|
進(jìn)樣管 |
不銹鋼毛細(xì)管 |
石英毛細(xì)管 |
|
氣體流速 sccm |
1–2 |
|
|
最低檢測(cè)限 C-SEM |
< 100 ppb |
|
殘余氣體分析儀 PrismaPro
|
高真空中的殘余氣體分析儀 PrismaPro |
|
殘余氣體分析儀 Hicube RGA
四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的完美搭配
|
型號(hào) |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
|
質(zhì)量數(shù)范圍 amu |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
|
對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
|
10 % 峰值高度的解析度 |
0.5 – 2.5 u |
|||||
高精度氣體分析儀 HiQuad? Neo
可作為獨(dú)立設(shè)備集成在系統(tǒng)中, 適用于科研和各類分析系統(tǒng).
|
質(zhì)量數(shù) u |
1-300 |
1-512 *3 |
|
檢測(cè)極限 hPa |
2X10-15 |
1X10-15 |
|
Ar 靈敏度,最低 *1) A/hPa |
2X10-4 |
5X10-4 |
高壓質(zhì)譜分析儀 HPA 220
在壓力范圍高達(dá) 50hPa 下的質(zhì)譜分析儀
|
質(zhì)量數(shù)（可選） |
1-100 amu |
1-200 amu |
1-300 amu |
|||
|---|---|---|---|---|---|---|
|
質(zhì)譜分析儀 |
QMA 220 |
|||||
|
檢測(cè) |
C-SEM/Faraday |
|||||
|
C-SEM 最小檢測(cè)極限 |
1X10-14 hPa |
|||||
|
Faraday 最小檢測(cè)極限 |
5X10-12 hPa |
|||||
定制殘余氣體分析系統(tǒng) OmniGrade
上海伯東德國 Pfeiffer OmniGrade 定制殘余氣體分析系統(tǒng), 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的 EUV 光刻, 電子顯微鏡, 超高真空 UHV 中的應(yīng)用. OmniGrade 在高真空條件下使用質(zhì)譜法正確測(cè)定脫氣率. 避免由于分子污染導(dǎo)致的影響, 達(dá)到更高水平的清潔度.
鍍膜工藝氣體監(jiān)測(cè)質(zhì)譜 SPM 220
在壓力范圍高達(dá) 10 hPa 下的氣體分析儀, 在 10-2 hPa 的壓力下, 實(shí)現(xiàn)了精確到分鐘的工藝氣體分析
|
質(zhì)量數(shù)（可選）amu |
1-100 or 1-200 |
|
質(zhì)譜分析儀 |
QMA 220 |
|
檢測(cè) |
C-SEM/Faraday |
|
過程壓力至（可選） |
1 hPa or 10 hPa or 8hPa |
在線質(zhì)譜分析儀熱催化分析
質(zhì)譜分析儀客戶案例: 在線質(zhì)譜分析儀 Omnistar 對(duì)經(jīng)過熱催化后的氣體 CH4, NO, CO2 等氣體進(jìn)行分析. 在催化反應(yīng)裝置尾氣段接入質(zhì)譜, 即可在線實(shí)時(shí)分析反應(yīng)產(chǎn)物的種類及特性. 定量分析需要加配對(duì)應(yīng)的標(biāo)氣, 利用氦氣作為載體, 在測(cè)試前進(jìn)行標(biāo)定.
在線質(zhì)譜分析儀與氣體分離測(cè)試系統(tǒng)聯(lián)用
質(zhì)譜分析儀客戶案例: 在線質(zhì)譜分析儀 Omnistar 與氣體分離測(cè)試系統(tǒng)聯(lián)用進(jìn)行 CH4, CO, C2H2,CO2 的快速定量分析.
在線質(zhì)譜分析儀催化劑吸附分析檢測(cè)
質(zhì)譜分析儀客戶案例: 在線質(zhì)譜分析儀 Omnistar 與吸附儀聯(lián)用進(jìn)行催化劑吸附分析檢測(cè),可研究催化劑的 NH3-TPD,TPR,TPO 等反應(yīng), 通過在線質(zhì)譜分析儀對(duì)吸附后的微量產(chǎn)物做更加清晰的定性和定量分析, 明確反應(yīng)的機(jī)理和反應(yīng)過程.