HVA 矩形閥 Load-lock 典型應(yīng)用
上海伯東某生產(chǎn)原生多晶矽料生產(chǎn)設(shè)備, 矽片加工設(shè)備, 晶體矽電池生產(chǎn)設(shè)備企業(yè), 使用美國 HVA 矩形閥用于真空機臺的 Load-lock工位, HVA 矩形閥安裝在 2X18 英寸規(guī)格內(nèi)的矽片生產(chǎn)線上, 起到輔助傳遞矽片, 隔離真空腔室的作用.

矽片比較薄, 一般可到200um, 還比較脆, 所以在傳送過程中對震動比較敏感, 同時需要安裝于設(shè)備上的矩形閥方便維護, 使用壽命長. 經(jīng)過伯東推薦, 客戶采購美國 HVA 88200 系列不銹鋼矩形閥.

美國 HVA 矩形閥具有獨特的密封系統(tǒng), 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護次數(shù). 外形尺寸小, 采用了驅(qū)動系統(tǒng),運行時震動小. 很好的滿足了客戶的需求. 與友廠 VAT 真空閥門對比, HVA 真空閥門維護更簡單, 無需將閥門從設(shè)備上移除, 常規(guī)保養(yǎng)直接更換密封圈即可.

HVA  矩形閥 88200 系列
> 1000000 次 啟閉次數(shù)
高壓不銹鋼坯體加工閥門主體
矩形閥尺寸: 高≤6 " ID (DN150) / 寬≤78 " ID (DN2000)
不銹鋼焊接波紋管
矩形閥傳動軸設(shè)計, 振動小
可選擇高達(dá) 200℃的高溫型號
可定制, HVA 矩形閥適用于所有真空應(yīng)用

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