Atonarp 適用于半導(dǎo)體過程控制在線質(zhì)譜儀 Aston?閱讀數(shù): 4209

Atonarp 適用于半導(dǎo)體過程控制在線質(zhì)譜儀 Aston™
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™, 通過使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內(nèi)實現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!
Aston™ 特性
實時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺, 提供實時, 可操作的數(shù)據(jù)
采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用
可與大批量生產(chǎn)工具集成
Aston™ 作為一個強大的平臺, 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供更高控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
Atonarp Aston™ 技術(shù)參數(shù)
類型 |
Impact-300 |
Impact-300DP |
Plasma-200 |
Plasma-200DP |
Plasma-300 |
Plasma-300DP |
型號 |
AST3007 |
AST3006 |
AST3005 |
AST3004 |
AST3003 |
AST3002 |
質(zhì)量分離 |
四級桿 |
|||||
真空系統(tǒng) |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
分子泵 |
檢測器 |
FC /SEM |
|||||
質(zhì)量范圍 |
2-285 |
2-220 |
2-285 |
|||
分辨率 |
0.8±0.2 |
|||||
檢測限 |
0.1 PPM |
|||||
工作溫度 |
15-35“℃ |
|||||
功率 |
350 W |
|||||
重量 |
15 kg |
|||||
尺寸 |
299 x 218 x 331 LxWxH(mm) |
400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
Atonarp Aston™ 應(yīng)用: 半導(dǎo)體工藝過程控制和優(yōu)化的重大發(fā)展, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新設(shè)計堅固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測和控制, 高定量精度和實時性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: 識別跟蹤分子
若您需要進一步的了解 Atonarp Aston™ 在線質(zhì)譜儀詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!