干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G閱讀數(shù): 828

Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G
上海伯東代理 Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G, 抽速 100 m³/h, 極限壓力 0.01 hPa, 適用于輕型到中型半導(dǎo)體應(yīng)用, load lock 腔和傳送腔, 計(jì)量, 平版印刷術(shù), 物理氣相沉積以及快速熱退火等
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 特點(diǎn)
性能出色: 先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì), 鐘形懸臂結(jié)構(gòu), 榮獲專利的自平衡螺桿, 出色的運(yùn)行品質(zhì), 非常適用于 load lock 腔和傳送腔, 計(jì)量, 平版印刷術(shù), 物理氣相沉積以及快速熱退火等應(yīng)用
高效: 智能變速驅(qū)動裝置, 擁有成本低, 維護(hù)少, 正常運(yùn)行時間長, 直接水冷卻
結(jié)構(gòu)緊湊: 密閉式設(shè)計(jì), 直聯(lián)的罐裝電機(jī), 集成控制面板
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 規(guī)格
技術(shù)參數(shù) |
COBRA BC 0101 G |
額定抽速 |
100 m³/h |
極限壓力 |
0.01 hPa (mbar) |
電機(jī)額定功率 |
1.8 kW |
極限壓力時的功耗 |
1.1 kW |
電機(jī)額定轉(zhuǎn)速 |
3600 min?¹ |
噪聲級(ISO 2151) |
58 dB(A) |
耗水量 |
1.0 l/min |
重量(約) |
115 kg |
尺寸(L x W x H) |
520 x 300 x 340 mm |
進(jìn)氣口 |
DN 50 KF |
排氣口 |
DN 40 KF |
Busch 普旭干式螺桿真空泵 COBRA BC 0101 G 應(yīng)用
沼氣處理: 升級 - 變壓吸附
輕型半導(dǎo)體生產(chǎn)
不同行業(yè)和應(yīng)用有不同的真空需求, 上海伯東是一家不僅銷售各類高端精密儀器設(shè)備的公司, 更是針對不同的客戶提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發(fā)新項(xiàng)目應(yīng)用的公司!
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